PVD镀膜设备工艺的发展

PVD镀膜设备技能出现于19世纪，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、极好的耐磨性和化学稳定性等长处。开始在高速钢刀具范畴的成功使用引起了世界各国制作业的高度重视，大家在开发高性能、高可靠性涂层设备的一起，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了愈加深化的涂层使用研究。与CVD技能比较，PVD镀膜设备技能处理温度低，在600℃以下时对刀具资料的抗弯强度无影响；薄膜内部应力状态为压应力，更适于对硬质合金精细杂乱刀具的涂层；PVD镀膜设备技能对环境无晦气影响，符合现代绿色制作的发展方向。当时PVD镀膜设备涂层技能已遍及使用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、车刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。光学真空镀膜机PVD镀膜机应用领域拓展。
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