明清时,仍属沁州,州治在今沁县城。民国三年(即公元1914年),沁源属冀宁道。民国十九年(公元1930年)废道,属山西省。
1942年10月,在朱鹤岭以北地区分设绵上县。
1945年4月11日,沁源和绵上又合并为沁源县,县政府驻郭道镇。太岳区的岳北专署驻沁源城关。
1949年太行区的长治专署和太岳区的岳北专署,合并为长治专署后,沁源县政府,从郭道迁到城关。
1958年沁县和襄垣合并不久,又和沁源三县合并为沁州,县政府驻沁县城。
1959年,沁县、沁源、襄垣又按原地分为三县,沁源县政府从沁县迁回城关镇(现改名为沁河镇)。