明清重置平阳府,统领35州县,包括今临汾、运城两市及晋中市灵石县和吕梁地区石楼县。
民国三年(1914年),废府设道,以道辖县,临汾、洪洞、赵城、襄陵、汾城、曲沃、安泽、浮山、翼城、乡宁、吉县、霍县、汾西、隰县、蒲县、大宁、永和等17县属河东道管辖。民国十六年(1927年),废道直属山西省。抗日战争初期,临汾为山西省7个行政区中的第6区。民国二十六年(1937年)11月,山西省政府迁到吉县。日伪统治时,为冀宁道。抗战胜利后,属太岳区。
1948年5月17日,临汾解放。1949年2月,成立晋南区,属陕甘宁边区政府,同年9月1日改属山西省。1950年1月6日,成立临汾专区。1954年,同运城专区合并为晋南专区(驻临汾),辖29县。1970年,专区改地区,晋南专区又按原建制划分为临汾、运城两地区。1978年,设临汾地区行政公署,辖临汾、侯马2市和16县。1983年,临汾县和临汾市合并为临汾市。2000年11月1日,撤地设市,成立地级临汾市。